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製品の詳細
JSM-7500 F電界放出走査ミラーには冷電界放出電子銃と半浸漬式（semi-in-lens）対物レンズが搭載されており、Gentle Beam（GBモード＝ソフトビーム）と合わせて極めて高い解像度を達成することができる。GBモードと組み合わせることで、数百電子ボルトの入射電子ビームでも高い分解能が得られ、サンプルの浅い表面を観察するのに最適な装置の1つです。また、JSM-7500 Fは、元素分析などのためのさまざまな添付ファイルを選択することもできます。
強力な汎用性と最高解像度の完璧な組み合わせ
JSM-7500 F電界放出走査電子顕微鏡の電子光学系は電界放出電子銃と半浸漬式（semi-in-lens）対物レンズを一体化し、冷電界放出電子銃は低加速電圧下でも電子ビームを細かく集束することができ、汎用型走査電子顕微鏡と同様に、大サンプルに対しても高分解能の観察を行うことができる。
Gentle Beam（すなわちソフトビーム）は、非常に低エネルギーの入射電子ビームで試料の浅い表面を観察することができる
試料にバイアスをかけて電子ビームを照射することにより、一般モードよりも解像度の高いGentle Beamモード（ソフトビーム）を用いて、数百電子ボルトの入射電子で試料の浅い表面を高解像度で観察することは、これまで実現できなかった。
新型r−フィルタによる二次電子及び後方散乱電子の選択的検出
新型rフィルタには、標準SB（二次電子検出）モード、標準BEモード（後方散乱電子検出）、Sbモード（二次電子中心）、Bsモード（後方散乱電子中心）の4つのモードがある。Sbモードは任意の比例後方散乱電子が混在した二次電子を検出することができ、Bsモードは任意の比例二次電子が混在した後方散乱電子を検出することができ、これらの機能は簡潔でわかりやすいメニューでワンタッチで操作することができる。
強力な汎用性と最高解像度の完璧な組み合わせ
JSM-7500 F電界放出走査電子顕微鏡の電子光学系は電界放出電子銃と半浸漬式（semi-in-lens）対物レンズを一体化し、冷電界放出電子銃は低加速電圧下でも電子ビームを細かく集束することができ、汎用型走査電子顕微鏡と同様に、大サンプルに対しても高分解能の観察を行うことができる。
Gentle Beam（すなわちソフトビーム）は、非常に低エネルギーの入射電子ビームで試料の浅い表面を観察することができる
試料にバイアスをかけて電子ビームを照射することにより、一般モードよりも解像度の高いGentle Beamモード（ソフトビーム）を用いて、数百電子ボルトの入射電子で試料の浅い表面を高解像度で観察することは、これまで実現できなかった。
新型r−フィルタによる二次電子及び後方散乱電子の選択的検出
新型rフィルタには、標準SB（二次電子検出）モード、標準BEモード（後方散乱電子検出）、Sbモード（二次電子中心）、Bsモード（後方散乱電子中心）の4つのモードがある。Sbモードは任意の比例後方散乱電子が混在した二次電子を検出することができ、Bsモードは任意の比例二次電子が混在した後方散乱電子を検出することができ、これらの機能は簡潔でわかりやすいメニューでワンタッチで操作することができる。
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